Penulis: Roer Eka Pawinanto, Budi Mulyanti, Jahril Nur Fauzan, Ayub Subandi, Lilik Hasanah, M. Assadillah Pangestu, Jumril Yunas
DOI: 10.11591/eei.v14i2.8448
Abstrak
Mikroaktuator memainkan peran penting dalam beberapa sistem mikroelektromekanik (MEMS) yang menghasilkan gaya atau defleksi yang diperlukan untuk melakukan fungsi seperti pemindaian, penyetelan, manipulasi, atau pengiriman. Pemanfaatan inti magnetik ferit telah menunjukkan potensi untuk meningkatkan defleksi mikroaktuator. Namun, penelitian sebelumnya menyajikan metode fabrikasi yang kompleks dengan konsumsi daya tinggi yang tidak cocok untuk aplikasi mikropompa. Dengan ini, dampak panjang inti ferit pada defleksi yang dihasilkan oleh mikroaktuator dengan metode fabrikasi yang sederhana. Perilaku defleksi menunjukkan bahwa panjang inti magnetik yang sesuai berbanding terbalik dengan peningkatan defleksi. Pengurangan gaya yang dihasilkan disebabkan oleh inti magnetik yang lebih panjang karena jarak yang lebih jauh ke kumparan. Penelitian ini dapat digunakan sebagai referensi untuk mendukung pengembangan perangkat mikropompa atau mikromixer aktif, yang membutuhkan perangkat kompak dengan fabrikasi sederhana dan defleksi tinggi, mencapai laju aliran ultra-tinggi dan indeks pencampuran tinggi. © 2025, Institute of Advanced Engineering and Science. Semua hak dilindungi undang-undang.
Kata kunci penulis
Defleksi; Inti ferit; Gaya; Mikroaktuator; Mikroelektromekanik; sistem
Artikel ini dapat diakses di https://www.scopus.com/pages/publications/85216641407
